516系列
特点：
l 阶差减小的高度从NO.1到NO.5。
l 相邻阶差校准的分辨率0.01μm，使用干涉仪的精度测量的线性偏差为±0.20μm
l 可选用钢制型和陶瓷型。
l 阶差规用于校准相邻高度的精度。
性能参数
公制型
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货号
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备注
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516-198
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钢制型（阶差：10μm/5μm/2μm/1μm）
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516-199
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钢制型（阶差：300μm/100μm/50μm/20μm）
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516-498
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陶瓷型（阶差：10μm/5μm/2μm/1μm）
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516-499
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陶瓷型（阶差：300μm/100μm/50μm/20μm）
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