蔡司三坐标测量机在维护全过程之中觉得下面几个方面情况理应产生特别注意，这也是各位在应用蔡司三坐标测量机的环节当中的一点经验和指导。

　　1、空气压力和质量

　　蔡司三坐标测量机一般是应用气浮轴承，运作的小气压应是0.45兆帕斯卡。在工作上应维护气压在0.5-0.8兆帕斯卡相互之间，才可以确保测量机的良好运作。虽然有时气压在0.45兆帕斯卡设备也可以运作，但应在意到X、Y、Z在运作环节当中气压会出现损害，那样气浮块的间距小，若是气浮块中有烟尘或细小微粒，会使导轨刮伤，比较严重时干扰测量精度或制作成三轴运作卡死。

　　2、导轨的清洗和光栅的养护

　　导轨维护清洁，必要应用浸湿过清洁航空汽油或无水乙醇的脱脂棉或丝绸布来清洗;在装、卸零部件时要尤其留意，避免 磕磕碰碰导轨。

　　光栅尺的养护直观干扰读数的精密度，Z轴光栅尺外露在外界环境中，而X和Y向光栅尺被外罩盖。因此 要格外留意Z轴光栅尺，避免 划痕。应用泡过清洁航空汽油丝绸布来清洗，让光栅尺干燥。

　　3、过滤器的清洗

　　要按时清洗过滤器，当看到过滤器的滤芯出现变色，就得清洗。取下塑料杯、滤网，用中性洗涤剂(各位用四氯化碳溶液)清洗，再应用清洁的气体烘干。从头开始装上后，精确测量压力，有必要就调整它。

　　4、电子控制系统的维护

　　电子控制系统是蔡司三坐标测量机的关键一部分，应当算是较为稳定的，但不允许被忽略对它的检测和维护。长期应用，一点接口、插片有可能松动。有一次各位看到，在开机以后，坐标轴“Home”时犯错误警报，清查看到原来是接口松动制作成的。