台式扫描电镜由三大部分组合而成：超滤装置，离子束操作系统及其成像操作系统。详细了解台式扫描电镜的组合而成结构特征，有助于更为科学合理的使用扫描电镜，因此增加扫描电镜的使用期限及提升实际操作的精准度。
　　电子显微镜价格低，实际操作比较简单，但主要是因为可见光波长的限定，其扩大倍数只可以做到1000倍前后;过去大中型扫描电子显微镜合理有效扩大倍数能够做到数万倍，有着大景深，是目前材料学、生物技术专业行业Z经常使用的表现技术手段之一，但其项目投资巨大，并且需要通过严格专业培训的实际操作工作人员，使用不方便。
　　台式扫描电镜的作用
　　一、超滤装置
　　台式扫描电镜超滤装置关键包含机械泵和真空系统柱两部分。机械泵柱是一个密闭的柱形器皿。
　　二、离子束操作系统
　　离子束操作系统由射线管和电磁透镜两一部分组合而成，关键用作造成一束力量遍布非常的窄的、电子能量确认的离子束主要用于扫描成像。
　　三、成像操作系统
　　电子通过多方面电磁透镜整束后，打进试品上与试品相互影响，会造成次级线圈电子、背散射电子、俄歇电子及其x光线等多方面数据信号。因此台式扫描电镜需要不一样的探测仪例如次级线圈电子探测器、x光线能谱分析仪等来区分这种数据信号以得到所需要的信息内容。