影像仪在进行测量时通常流程是先对焦对准，再读数，然后计算处理。读数来自于光栅系，对焦对准依赖于影像仪的光学系统，还有一个有效正确的照明光源直接影响测量效果和精度。此外环境条件也是影响测量精度不容忽视的因素。接下该设备有什么硬件因素会导致误差。

　　1、显微镜光轴与作业台面不笔直发生的误差。这种误差源发生后通常能够经过调整显微镜的聚光镜方位来实现消除误差源。

　　2、影像仪的两个作业台运动测量坐标轴之间相互笔直度带来的误差。这种误差源能够经过调整两个运动坐标轴之间的笔直度来减小这种误差源的影像。

　　3、设备作业台移动时存在的直线度、角摆度问题带来的误差。这种误差源通常要经过检测与调整导轨笔直度、平行度来处理。

　　4、设备光栅计数尺的测量精度或硬件问题带来的误差，这种误差源由因此光栅计数尺自身的问题导致的，因此能够选择替换愈加高精度的光栅计数尺来处理。

　　以上内容就是对影像仪有什么硬件因素会导致误差的介绍了，能够看出许多误差来自于硬件误差，这些在设备制造过程中已经形成并固定下来，没办法改变，因此选择一台零配件优质，构造完美，控制系统稳定，测量精度高的设备很重要。