蔡司工业CT系统的主要性能参数包括：样本范围（直径，高度，重量，等效钢厚度等），检测时间（扫描，重建时间）和图像质量（密度分辨率，空间分辨率，伪影等）。图像质量是工业CT系统的核心指标。
在实践中，密度分辨率，空间分辨率和伪影通常用于表征蔡司工业CT的图像质量，这不仅可操作，而且针对不同CT系统的性能进行更客观，科学和定量的比较。尽管这些抽象的概念不等于实际的检测能力或特定的缺陷大小，但它们彼此密切相关，并且可以合理地反映系统的检测能力，这是判断系统性能的公认标准。
除了以上两个主要技术指标外，还应特别注意蔡司CT伪影。伪影不是CT检测图像本身的一部分，而是一种“干扰”。从理论上讲，伪影可以定义为蔡司CT图像中的数值与对象的实际衰减系数之间的差。