蔡司三坐标面片扫描方式时用起始点、方向点和起始矢量可定义截平面矢量(通常该矢量平行于被测元素)。现以创建四边形面片为例，介绍面片扫描的几种定义方式：
1. 键入坐标值方式
双击边界点“1”，输入起始点坐标值X、Y、Z;双击边界方向点“D”，输入扫描方向点坐标值;双击边界点“2”，输入确定第一方向的扫描宽度;双击边界点“3”，输入确定第二方向的扫描宽度;点击“3”，然后按“添加”按钮，对话框给出第四个边界点;双击边界点“4”，输入终止点坐标值;选择扫描所需的步长(各点间的步距)和较大步长(1、2两点间的步长)值后，点击“创建”。
2. 触测方式
选定“面片扫描”方式，用坐标测量机操作盘在所需起始点位置触测第一点，该点坐标值将显示在“边界点”对话框的“#1”项内;然后触测第二点，该点代表扫描第一方向的终止点，其坐标值将显示在对话框的“D”项内;然后触测第三点，该点代表扫描面片宽度，其坐标值将显示在对话框的“#3”项内;点击“3”，选择“添加”，可在清单上添加第四点;触测终止点，将关闭对话框。较后定义扫描行距和步长两个方向数据;选择扫描触测类型及所需选项后，点击“创建”。
3. CAD曲面模型方式
三本精密仪器提示该扫描方式只适用于有CAD曲面模型的工件。首先选定“面片扫描”方式，左键点击CAD工作表面;加亮“边界点”对话框中的“1”，左键点击曲面上的扫描起始点;然后加亮“D”，点击曲面定义方向点;点击曲面定义扫描宽度(#2);点击曲面定义扫描上宽度(#3);点击“3”，选择“添加”，添加附加点“4”，加亮“4”，点击定义扫描终止点，关闭对话框。定义两个方向的步长及选择所需选项后，点击“创建”。