蔡司工业CT的精度主要由三个指标来衡量：空间分辨率、对比度分辨率和测量误差。
1、空间分辨率
空间分辨率指的是蔡司工业CT在一定物质密度下能分辨物体最小特征大小的能力。通常用线对线距离、点对点距离、透过孔大小等表达。在实际应用过程中，空间分辨率既与工业ct系统本身的分辨率有关，也与X射线源的能量有关。
2、对比度分辨率
对比度分辨率指的是蔡司工业CT在对物体进行成像时，能够清晰区分物体内部的不同密度区域，并能够获取到物体的同质性与异质性分布情况。工业ct的对比度分辨率主要受到工业ct系统本身的能量分辨率、X射线源的能量和检测器灵敏度等因素的影响。
3、测量误差
测量误差指的是蔡司工业CT测量结果与真实值之间可能存在的偏差。在工业CT的应用中，测量误差主要来自于X射线源与检测器之间对工件的不同立体角度，以及X射线源、检测器和工件之间的相对运动造成的误差。在修正方面，校准方法包括标准工件校准法、省略式标定法等众多，常用的还有数据叠加法校准、数据后处理法等方式。